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歐姆龍空氣流量傳感器的工作原理構(gòu)造和特點(diǎn)

2020-11-24

流量傳感器想必大家都知道它分為檢測液體流量、氣體流量,以下我們來談下空氣流量傳感器:

MEMS氣體質(zhì)量bai流量計采用具有自主知識產(chǎn)du權(quán)的zhiMEMS芯片作為傳感器核心部件,當(dāng)沒有氣體介質(zhì)dao流過傳感器芯片時,傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(溫度分布),當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時,溫度場因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量,通過校準(zhǔn),專門設(shè)計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.


以下我們來看下歐姆龍流量傳感器的結(jié)構(gòu):


歐姆龍MEMS氣體流量傳感器特點(diǎn):

1、高精度測量微流量

采用溫差檢測方式,實(shí)現(xiàn)±3% F.S.的高精度傳感


2、溫度特性 實(shí)現(xiàn) ±3% F.S.

溫度的影響小,無需進(jìn)行溫度補(bǔ)償即可測量質(zhì)量流量


3、可優(yōu)化質(zhì)量流量的高速響應(yīng)性

實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)性,輸出達(dá)到 ±3% F.S 只需20ms

優(yōu)化空燃比并提高了測量可靠性


4、應(yīng)用廣泛的低功耗

熱電堆為熱電動勢輸出方式,功耗低于電阻式


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